差距进一步扩大?ASML第三代EUV光刻机交付,用于2nm芯片报价约13亿元
ASML近日在社交平台发文称:芯片制造商需要速度,差距第一台TWINSCAN NXE:3800E现已安装在一家芯片工厂中。进步交付
据了解,扩大刻机TWINSCAN NXE:3800E是第代ASML的第三代标准EUV光刻机,其配备了0.33数值孔径透镜,用于约亿元相较于此前发布的芯片TWINSCAN NXE:3600D性能有了进一步提升,能够支持未来几年芯片行业3nm以及2nm制程芯片的差距生产制造。
在性能方面,进步交付TWINSCAN NXE:3800E在晶圆处理速度与对准精度方面有了更出色的扩大刻机表现,它可以实现每小时处理195片晶圆的第代速度,相较于3600D每小时约160片的用于约亿元速度大约提升了22%,而且未来还有可能提升到每小时处理220片晶圆的芯片速度。此外它还提供了小于1.1nm的差距晶圆对准精度。
TWINSCAN NXE:3800E精度与速度上的进步交付提升,让芯片制造厂商在生产2nm制程芯片以及后续需要双重曝光的扩大刻机制造技术时有很好的效果。不过即使是用于4nm或者5nm的制程芯片,TWINSCAN NXE:3800E也能够提升效率,让芯片的生产更高效,从而降低成本。
当然,这样一套目前行业领先的EUV光刻机自然价格也是不便宜,据了解TWINSCAN NXE:3800E每套报价为1.8亿美元,换算成人民币约为13亿元。不过相较于前段时间ASML卖给英特尔的High-NA EUV光刻机TWINSCAN EXE:5200(报价为3.8亿美元),也算是比较有性价比了。
虽然ASML官方并没有透露首台TWINSCAN NXE:3800E具体交付给了哪家厂商,但有评论指出是英特尔。在ASML的助力下,美国芯片企业发展顺风顺水,在努力拉开与其它国家的差距。